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공통속성정보
물품이미지 물품목록번호 41115339-24231990
물품분류번호 41115339
물품식별번호 24231990
품명 일립소미터
세부품명번호 4111533901 (일립소미터)
세부품명영문명 Ellipsometers
단위
내용연수 10
상품원산지국가명 대한민국(KR)
품목구분 물품관리용 품목
부품여부 N
품목등록일 2021-05-03

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공통속성정보2
모델명 ELLI-SEUN
품목명 일립소미터, 엘립소테크놀러지, ELLI-SEUN
제조업체명 (주)엘립소테크놀러지
제품설명 엘립소메터는 일정한 입사각을 가진 광원으로부터 입사된 빛이 편광자 모듈을 거쳐 빛을 선형 편광으로 변환하여 시료에 반사시킨다. 이때 반사되는 편광상태는 물질에 따라 각기 다른 고유의 편광상태를 갖는다. 고유의 편광상태의 변화를 측정하여 다양한 물질의 시료의 특성(두께, 복소 굴절률 또는 유전함수)을 넓은 파장대역(240~1700nm)에서측정 할 수 있는 장비이다.

개별속성정보

개별속성정보
속성명 속성값 측정단위
광원형식 Deuterium, 텅스텐할로겐램프
측정두께범위 245~1700 nm
데이터산출방식 Simulation software
분석가능물성 박막의 두께, 굴절율, 소광계수, 조밀도 등
이동재물대유무
입사각변화가능유무
제어보정장치유무
종류 일립소미터
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