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공통속성정보

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공통속성정보
물품이미지 물품목록번호 41114508-22760536
물품분류번호 41114508
물품식별번호 22760536
품명 표면검사장치
세부품명번호 4111450801 (표면분석기)
세부품명영문명 Surface analyzers
단위
내용연수 9
상품원산지국가명 일본(JP)
품목구분 일반용 품목
부품여부 N
품목등록일 2014-09-05

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공통속성정보2
모델명 PHI710
품목명 표면분석기, Ulvac-phi, (JP)PHI710
제조업체명 Ulvac-phi
제품설명 초고진공 분위기에서 수백 Angstrom의 크기로 집속된 Electron Beam을 시료 표면에 입사시켜 방출되는 Auger Electron의 에너지를 측정함으로서 재료 표면을 구성하고 있는 원소의 종류 및 양을 분석해내는 장비로서 XPS(ESCA), SIMS(Secondary ion Mass Spectroscopy)와 사용되고 있는 표면분석장비이다(PC포함).

개별속성정보

개별속성정보
속성명 속성값 측정단위
측정방식 Spectroscopy/AES Imaging/Depth Profile
검출장치 MCD
분해능 8nm
빔조사크기 0.000007 mm
수분가열장치최고온도 180
시료크기 25~60 mm
에너지전극원 FE gun
조사에너지 2500 eV
측정각도 0~30 ˚
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