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공통속성정보
물품이미지 물품목록번호 41113051-20710662
물품분류번호 41113051
물품식별번호 20710662
품명 산화환원측정기
세부품명번호 4111305101 (산화안정도시험기)
세부품명영문명 Oxidation stability testers
단위
내용연수 11
상품원산지국가명 미국(US)
품목구분 일반용 품목
부품여부 N
품목등록일 2006-02-06

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공통속성정보2
모델명 SemiChem 4102
품목명 산화안정도시험기, GMTI, (US)SemiChem 4102
제조업체명 GMTI,US
제품설명 CMP 공정 및 각 에칭의 응용실시간 온라인 모니터링 시스템프로세스 조건의 안정된 조절 기능제품의 농도 유지아날로그 및 디지털 신호 출력Applications Wet etch, Nitride etch, Piranha etchTungsten CMP, Copper CMP, HFCleans

개별속성정보

개별속성정보
속성명 속성값 측정단위
산화환원전위측정범위 ±0.2 %
무게 52 kg
분해능 6~10 cycle/h
산화환원전위정밀도 ± 0.2%
수소이온농도측정기능내장유무
시료수 2
시료용량 0.05 to 10 mL
압력매체 CDA or Pump
종류 On-line Chemical concentration minitoring system
최고사용온도 93
최대압력 350 kPa
표시규격 Potentiometric/Standard addition/ORP electrode
크기(폭) 610 mm
크기(깊이) 521 mm
크기(높이) 324 mm
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