전자현미경 |
일반 광학현미경으로 관측이 어려운 시료의 미세 영역을 고분해(50Å) 및 고배율(1,500,000X)로 확대하여 표면구조, 내부구조 및 형태를 관찰하는 장치로, 전자총에서 발생된 전자빔(beam)을 집속시켜 시료의 미세영역에 조사하여 투과되거나, 주사된 전자를 전자장을 이용하여 확대시킨 후 검출기로 감지하여 형광판이나 화면으로 확대된상을 관찰하고, 전자빔을 방출 및 집속하는 전자광학계,시료실, 관찰CRT와 출력장치등으로 구성되며, X선 분석기등을 장치하여 시료의 미세영역에 대한 정성·정량분석할 수 있어 기초과학 연구에 응용되어 사용됨. |